快速退火爐的應(yīng)用領(lǐng)域和使用條件介紹
更新時(shí)間:2019-04-24 點(diǎn)擊次數(shù):5269
快速退火爐具有升溫速度快、密封好、溫度范圍寬、實(shí)驗(yàn)方便等特點(diǎn)。
真空快速退火爐的應(yīng)用領(lǐng)域:
- 離子注入/接觸退火;
- 快速熱處理(RTP),快速退火(RTA),快速熱氧化(RTO),快速熱氮化(RTN);
- 可在真空、惰性氣氛、氧氣、氫氣、混合氣等不同環(huán)境下使用;
- SiAu, SiAl, SiMo合金化;
- 低介電材料;
- 晶體化,致密化;
- 太陽能電池片鍵合
快速退火爐適用于下列工作條件:
(1)環(huán)境溫度在-10~75℃之間。
(2)周圍環(huán)境的相對(duì)濕度不超過85%。
(3)爐子周圍沒有導(dǎo)電塵埃,爆炸性氣體及嚴(yán)重破壞金屬和絕緣材料的腐蝕性氣體。
(4)沒有明顯的傾斜﹑振動(dòng)和顛簸。